超声波的接收超声波的接收器是利用超声波发生器的逆效应进行工作的。当超声波作用到电晶体片上时，使晶片伸缩，则在晶片的两个面上产生交变电荷。这种电荷被转换成电压，经过放大后送到测量电路，最后记录或显示出结果。它的结构和超声波发生器基本相同，其原理如图4-4所示。

图4-4超声波发生器和接收器原理

声表面波的结构和工作原理声表面波(SAW)传感器的关键部件是SAW振荡器，振荡器是由声表面波谐振器( SAWR)或声表面波延迟线与放大器以及匹配网络组成，SAWR是用叉指换能器及金属式反射器构成，如图4-5所示。叉指换能器及反射器是用半导体集成工艺将金属铝淀积在压电基底材料上，再用光刻技将金属薄膜刻成一定尺寸形状的特殊结构。由SAWR组成的振荡器结构原理图，如图4-6所示。