光源照明对光电检测系统的检测效果起着非常重要的作用
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简介: 光源照明对光电检测系统的检测效果起着非常重要的作用,照明的种类繁多,用途也A12188非常广泛。本节只介绍常用的照明方式。
1.直接照明
直接照明按照明方法分为透射光亮视场照明、反射光亮视场照 明、透射光暗视场照明和反射光暗视场照明,分别如图3 -15(a)、(b)、(c)、(d)所示,图中阴影部分为照明光场。按光源类型分为白炽灯熙明、光纤照明和LED照明等。
1)透射光亮视场照明
照明光源和物镜在物的两侧,物平面上各部分的透射率不同而调制照明光。缺陷的玻璃板时,得到均匀的亮视场。
2)反射光亮视场照明
照明光源和物镜在物的同侧,物平面上各部分的反射率不同而调制照明光。缺陷的漫反射表面时,得到均匀的亮视场。
3)透射光暗视场照明
照明光源和物镜在物的两侧,倾斜入射的照明光束在物镜侧向通过,当物体为无缺陷的玻璃板时,无光线进入物镜成像,因此得到均匀的暗视场。物体有缺陷时,光束通过物体内部结构的衍射、折射和反射射向物镜而形成物体缺陷的像。
4)反射光暗视场照明
照明光源和物镜在物的同侧,从物镜旁侧入射到物体的照明光束经反射后在物镜侧向通过,当物体为无缺陷的反射镜面时,无光线进入物镜成像,得到均匀的暗视场。物体有缺陷时,光束通过衍射和反射射向物镜而形成物体的像。