基于嵌入式Linux的晶体生长控径系统的研究.pdf
时间:02-07 10:54
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简介：
针对直径检测及控制技术向大直径化硅棒发展的需求，设计一种低成本，功能适中的晶体生长控径系统。该系统以ARM9系列的S3C2440为核心，基于Linux嵌入式操作系统设计一种图像处理方法，根据亚像素原理计算出硅棒直径，并为上位机提供具有特定电平的模拟信号，从而控制直拉单晶硅生长速度，使系统实现测量数据可读化。实验表明，该系统能够很好地解决图像处理问题，图像处理的准确率满足直径检测系统的要求，且实现简单，成本较低，特别适合于对精度要求较严格的检测系统。
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