设计了悬臂梁结构电热激励、压阻拾取硅微机械谐振器件，分析了电热激励和压阻拾取的基本工作原理，设计了与Bipolar工艺兼容的器件制作工艺流程，并制作了器件样品。对真空中器件的幅频特性进行了实验研究，研究结果表明，在粗真空范围内，保持激励功率不变的情况下，微悬臂梁的振幅、谐振频率与真空度之间具有明显的依赖关系，可以用来设计、制作MEMS粗真空谐振式传感器。
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