基于LabVIEW的温控系统.pdf-资料-软件开发-仿真

基于LabVIEW的温控系统.pdf

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简介：

衬底沉积温度是影响薄膜生长形态的关键因素。针对超高真空薄膜生长中对衬底沉积温度恒温控制需求，文中讨论了基于电阻加热和液氦制冷相结合的温控系统，详细论述了LabVIEW 环境下的温控系统应用软件设计思路，该应用软件通过VISA 接口与精密温度控制仪进行数据通信，依据其内置的PID 控制算法，实现温度控制。测试试验表明: 该系统具体良好的恒温效果，能够满足超过超高真空薄膜生长时对衬底沉积温度的温控要求，具有很高的实用价值。