扁平振动电机驱动的无阀微泵的研究.pdf
时间:12-11 09:18
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简介：
研制了一种新型的电磁驱动式无阀微泵, 该微泵利用有机玻璃制作泵腔, 采用扩散口/喷口的结构, 以PDMS作为振动膜, 利用扁平振动电机作为驱动部件。对微泵的振动频率和输出流量进行了测试, 结果显示, 电压在1.0 V ~ 1.8 V范围内时, 微泵的输出流量随着电压的升高而增加, 当电压在1.8~ 3.3 V时, 微泵输出的流量保持稳定, 达到150μL/min。具有良好的性能和低廉的成本。
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