本文介绍了一种基于微机的精密电感测微仪。分析了影响仪器测量精度的因素, 在此基础上通过测量电路的设计, 对零点误差进行了抑制, 对正弦激励信号进行了稳频和稳幅, 同时通过AD和微机对信号进行了数字相敏检波, 并利用计 算机强大的数据处理能力对数字采样信号进行了处理。通过一系列的实验对该电感测微仪进行了评价, 并将其应用于精 密测量中。由实验数据和应用实例表明, 该测量仪具有良好的性能指标, 能在精密和超精密测量领域中使用。
电感测微仪测量电路原理
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