采用表面微机械技术制作了一种l 3l0 nm 基于InP / 空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot 光滤波器。该滤波器的通光孔直径约为70 !m，在l. 4 V 的调谐电压下，调谐范围达到l5 nm。并采用光学传输矩阵方法，分析了斜入射对这种可调谐光滤波器透射谱的峰值半高宽的影响。
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