介绍了电容式硅微传声器的构造和工作原理,采用电一力一声类比法,建立了通用电容式硅徼传声器的集总参数等效电路模型,并运用PSHCE软件对其动态特性进行计算机仿真,得到了仿真模型在1 kHz处的灵敏度达到一40 dB,并且在可听域范围内,频率响应平坦。
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