半导体制造工艺流程.doc
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简介:
晶圆处理制程之主要工作为在矽晶圆上制作电路与电子元件(如电晶体、电容体、逻辑闸等),为上述各制程中所需技术最复杂且资金投入最多的过程,以微处理器(Microprocessor)为例,其所需处理步骤可达数百道,而其所需加工机台先进且昂贵,动辄数千万一台,其所需制造环境为为一温度、湿度与含尘(Particle)均需控制的无尘室(Clean-Room),虽然详细的处理程序是随著产品种类与所使用的技术有关;不过其基本处理步骤通常是晶圆先经过适当的清洗(Cleaning)之後,接著进行氧化(Oxidation)及沈积,最後进行微影、蚀刻及离子植入等反覆步骤,以完成晶圆上电路的加工与制作。
典型的测试和检验过程
1。芯片测试(wafersort)
2。芯片目检(dievisual)
3。芯片粘贴测试(dieattach)
4。压焊强度测试(leadbondstrength)
5。稳定性烘焙(stabilizationbake)
6。温度循环测试(temperaturecycle)
8。离心测试(constantacceleration)
9。渗漏测试(leaktest)
10。高低温电测试
11。高温老化(burn-in)
12。老化后测试(post-burn-inelectricaltest)