臭氧发生器供电电源是臭氧发生器的重要组成部分，供电电源的电压、频率和波形是影响臭氧发生器效率的重要因素。发生器的结构、气源和冷却系统确定后，电源系统的性能与品质就成为影响发生器效率的关键。上世纪80 年代后，半导体器件的发展使臭氧电源发生质的变化，逆变式电源成为臭氧发生电源的主要形式。在该类电源中，用整流器将工频交流电整流成直流电，经逆变电路转换为单相中高频交变电，再经中高频升压变压器升压至发生器放电所需的电压。与工频供电相比，中频逆变电源具有系统体积小、电源效率高、臭氧产量大、可线性调节范围宽、对电网污染小等优点。
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