介绍了一种基于有限状态机（FSM）的高精度角度测量系统。该系统采用Renishaw高精度增量式光电编码器作为位置传感器来测量角度，在FPGA上用VHDL语言描述与仿真有限状态机，实现信号滤波与去抖，从而保证了计数器计数的正确性。在ARM9处理器上实现角度的实时计算，并控制转台旋转。在激光跟踪测量系统的工程应用中验证了该系统的正确性和有效性。
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