基于MOEMS 技术的F - P 光开关的设计.pdf
时间:05-07 11:47
查看:1394次
下载:163次
简介：
Fabry - Perot （F - P）干涉仪是很多与波长相关的光学元器件的核心结构，通过研制基于MOEMS 技术的F - P 光开关，可以得到研制一大类MOEMS 选频器件的基本设计方法和基本工艺步骤。文章给出了能完全与现有IC 工艺相结合，采用Si，SiO₂和Si₃N4材料的多层介质结构的F - P 光开关的设计方法和设计尺寸及其光性能的模拟结果，为今后研制光开关以及结构更为复杂的滤波器等打下了坚实的基础。
畅学电子
